半導体装置ガイド

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2026年 8月

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バッチ洗浄機の処理シーケンス QDRからIPA蒸気乾燥まで完全解説

バッチ洗浄機の処理シーケンスを完全解説|50枚まとめて"銭湯"をはしごする段取り

ドライエッチャーの処理シーケンス静電チャックからシーズニングまで完全解説

エッチング装置

ドライエッチャーの処理シーケンスを完全解説|"彫りながら守る"プラズマの2つのつまみ

露光装置の処理シーケンスステップアンドスキャンの全動作を完全解説

露光装置の処理シーケンスを完全解説|nmの精度で"走りながら焼く"ステップ&スキャンの全動作

アッシング装置の処理シーケンスダウンストリーム方式からポッピング対策まで完全解説

エッチング装置

アッシング装置の処理シーケンスを完全解説|レジストを"火のない燃焼"で灰にする後始末の科学

パワーモジュールのゲル封止工程真空注入から部分放電試験まで完全解説

モールド・封止装置

パワーモジュールの封止工程を完全解説|シリコーンゲル封止とフルモールドの使い分け

ダイボンダの処理シーケンス突き上げからプレースまで完全解説

ボンディング装置

ダイボンダの処理シーケンスを完全解説|テープから剥がして±数μmに置くまでの攻防

縦型炉の処理シーケンスバッチ編成からアンロードまで完全解説

熱処理装置

縦型炉の処理シーケンスを完全解説|150枚を一度に焼く"時間の装置"のゆっくりの技術

スパッタ装置の処理シーケンスターゲットから防着板まで完全解説

スパッタ装置の処理シーケンスを完全解説|原子のビリヤードを支える真空一貫の段取り

イオン注入機の処理シーケンスビームラインの中を完全解説

イオン注入装置

イオン注入機の処理シーケンスを完全解説|ビームという"生き物"を飼いならす真空の中の全動作

CMP装置の処理シーケンスキャリアヘッドとプラテンのリレーを完全解説

CMP装置の処理シーケンスを完全解説|ゴム膜の掌でウェハを押す3枚のテーブルのリレー